A Samsung Electronics encomendou aproximadamente 20 máquinas de litografia EUV da ASML em um contrato de mais de 10 trilhões de won (US$7,4 bilhões) para sua nova fábrica P5 em Pyeongtaek. Incluindo ferramentas DUV da ASML e Canon, o pedido total chega a cerca de 70 unidades.

As máquinas vão impulsionar a produção de DRAM de sexta geração (1c) e memória HBM4, com a Samsung fornecendo chips para a NVIDIA na plataforma GPU Rubin. A SK hynix, principal concorrente, fechou contrato semelhante de 12 trilhões de won para ~20 máquinas EUV. A fase 1 da sala limpa do P5 deve ficar pronta no Q1 de 2027.